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微通道冷卻給芯片 “降溫提速”,熱阻砍半,性能飛升!

熱設計

來源:IEEE Journal of the Electron Devices Society

鏈接:https://doi.org/10.1109/jeds.2026.3658238


01 背景介紹

氮化鎵(GaN)作為寬禁帶半導體,具有更高擊穿電場、電子密度、遷移率及飽和速度,在高頻、高功率電子領域應用廣泛。高功率密度導致 2DEG(二維電子氣)通道產(chǎn)生嚴重自熱效應(焦耳熱累積),需將通道溫度控制在 200℃以下(商用 RF GaN HEMT 10W/mm 功率密度場景),否則會導致電性能退化與長期可靠性下降。

02 成果掠影

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近日,西安電子科技大學張進成、馮欣副、劉志宏團隊在GaN HEMT熱管理方面取得重要進展,提出并驗證了一種高效集成的微流道冷卻方案,顯著提升了器件的散熱能力與電學性能。通過建立自然風冷與微通道冷卻的熱阻模型,結合 CFD 仿真與實驗驗證,實現(xiàn)結 - 環(huán)境熱阻(Rj-a)最低 13.5 K/W(較自然風冷降低 65%) 、表面熱通量達2200 W/cm2(提升 106%) ,飽和電流增加35.2% ,有效抑制自熱效應與電流崩塌;該技術在 25℃-50℃高環(huán)境溫度下仍保持穩(wěn)定冷卻效果,且具有高集成性、通用性優(yōu)勢,為高功率 GaN 器件提供了高效且實用的熱管理解決方案。研究成果以“Microchannel Cooling for Performance Enhancement of GaN-on-Si HEMT With a Low Rj-a of 13.5 K/W” 為題,發(fā)表于《IEEE Journal of the Electron Devices Society》期刊。


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