近日,東京大學(xué)的研究團隊公布了一種創(chuàng)新的3D水冷系統(tǒng),該系統(tǒng)充分利用了水的相變過程,實現(xiàn)了高達7倍的熱傳遞效率提升。這一研究成果目前發(fā)表在《Cell Reports Physical Science》雜志上。
摩爾定律所描述的芯片持續(xù)微型化趨勢一直是數(shù)字時代發(fā)展的強大動力。然而,隨著芯片尺寸不斷縮小且性能日益強大,散熱問題逐漸成為制約其發(fā)展的關(guān)鍵瓶頸,現(xiàn)有的冷卻技術(shù)已難以滿足需求。

目前,一種有效的冷卻方法是在芯片內(nèi)部直接構(gòu)建微通道。這些微小的通道通過循環(huán)水吸收并帶走熱量。然而,這種方法受到水的“顯熱”的限制,即水在不發(fā)生相變的情況下能夠吸收的熱量。相比之下,水在沸騰或蒸發(fā)時吸收的“潛熱”大約是其顯熱的 7 倍。該研究的主要作者解釋稱:“通過利用水的潛熱,可以實現(xiàn)兩相冷卻,從而顯著提高散熱效率。”
此前的研究已經(jīng)展示了兩相冷卻的潛力,但也指出了該技術(shù)的復(fù)雜性,主要是由于在加熱后難以控制蒸汽氣泡的流動。同時提高熱傳遞效率取決于多種因素,包括微通道的幾何形狀、兩相流的調(diào)控以及流動阻力。
此次研究的新型水冷系統(tǒng)包括三維微流體通道結(jié)構(gòu),利用毛細管結(jié)構(gòu)和歧管分配層,同時設(shè)計和制造了各種毛細血管幾何形狀,并在一系列條件下研究了它們的特性。
其核心技術(shù)采用雙級流動設(shè)計:冷卻劑先流經(jīng)寬幅歧管,再進入20微米寬的精密微通道網(wǎng)絡(luò),精準鎖定芯片熱點實現(xiàn)瞬間汽化散熱。團隊證實該方案熱流密度可達1千瓦/平方厘米,完美適配下一代AI芯片需求,且微通道可直接蝕刻于硅晶圓背面,兼容現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝。
研究發(fā)現(xiàn),冷卻液流經(jīng)的微通道的幾何形狀以及控制冷卻液分配的歧管通道,都會影響系統(tǒng)的熱性能和水力性能。根據(jù)其所測量的有用冷卻輸出與所需能量輸入的比率,即制冷系數(shù)(COP),最高可達10萬,這一數(shù)字顯著優(yōu)于傳統(tǒng)冷卻技術(shù)。
當前的芯片散熱方案
隨著芯片技術(shù)的不斷進步,芯片性能在日益提升的同時功耗也隨之增加。根據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù),電子元器件溫度每升高2℃,可靠性下降10%,溫度達到50℃時的壽命只有25℃時的1/6,因此數(shù)據(jù)中心及AI芯片廠商都在不斷探索散熱技術(shù)以保證其產(chǎn)品性能。
前文提到的芯片內(nèi)微通道散熱就是當前芯片散熱的一種技術(shù)。該技術(shù)最初是由斯坦福大學(xué)的TUCKERMAN和PEASE在1981年提出,其在硅襯底上加工了寬度為 50 μm的微通道結(jié)構(gòu),在 790 W/c㎡的熱流密度下,芯片的溫升被控制在71℃以內(nèi)。2022 年,北京大學(xué)提出了一種雙H型芯片歧管內(nèi)嵌冷卻結(jié)構(gòu),采用硅-硅鍵合工藝集成,可針對面積為400m㎡、功耗為417W的芯片,在溫升為22.2℃的情況下,實現(xiàn)了對104.3 W/c㎡熱流密度的冷卻。另外,洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院的研究人員再次升級了嵌入式冷卻的想法,從一開始就將電子元件和冷卻裝置設(shè)計在一起,在芯片內(nèi)部設(shè)計了三維冷卻通道,在晶體管的有源部分下方,距離實際產(chǎn)生熱量的地方只有幾微米,這樣可以防止熱量在整個設(shè)備中擴散。
隨著市場需求的增長,越來越多的企業(yè)開始涉足芯片級散熱領(lǐng)域,芯片廠商臺積電、英偉達、英特爾等均有自己的散熱方案。
其中,臺積電在2021年針對高性能芯片提出了兩種近芯片冷卻方案,一種是在芯片與硅微通道之間采用氧硅鍵合進行集成,可在特定溫升和功耗下實現(xiàn)有效冷卻;另一種是片上水冷技術(shù),能滿足不同參數(shù)芯片的散熱需求。2022年又提出浸沒式兩相冷卻方案,將浸沒式冷卻應(yīng)用于高功率封裝上,熱阻低,可在一定溫升下實現(xiàn)高功率密度的冷卻,且該方案在電源使用效率方面表現(xiàn)優(yōu)異,有望成為未來數(shù)據(jù)中心或超算中心主流的冷卻方式之一。
英偉達推出了基于直接芯片冷卻技術(shù)的A100 800G PCIe液冷GPU,較風(fēng)冷版本性能相當,但電力節(jié)約30%左右,單插槽設(shè)計節(jié)省最多66%的機架空間。2024年發(fā)布的GB200 NVL72,單功率約120kw,采用液冷系統(tǒng)設(shè)計,降低了成本和能耗。此外,英偉達還率先采用鉆石散熱GPU進行測試實驗,性能顯著提升。
英特爾的散熱方案主要是通過“新材料和結(jié)構(gòu)革新”,涵蓋了從3D均熱板的改進和射流液體冷卻,以及浸沒式冷卻相關(guān)的優(yōu)化設(shè)計。例如計劃通過改進的沸騰涂層來促進兩相冷卻中的成核點密度,提高均熱板工質(zhì)的核沸騰能力,并降低接觸熱阻。
日月光半導(dǎo)體在2024年10月公布的“封裝結(jié)構(gòu)”專利中,引入了一種第一熱電結(jié)構(gòu),具備溫度感測模式和制冷模式。該熱電結(jié)構(gòu)能夠穿入介電層,貼近芯片的第一表面,從而在制冷模式下對芯片提供有效的冷卻。
值得注意的是,根據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)顯示,2024年全球數(shù)據(jù)中心熱管理市場規(guī)模為165.6億美元,預(yù)計到2029年將增長至345.1億美元,2024-2029年的復(fù)合年增長率(CAGR)為15.8%。從技術(shù)滲透率來看,Omdia預(yù)計2023年數(shù)據(jù)中心風(fēng)冷和液冷市場規(guī)模為76.7億美元,其中液冷的滲透率約為17%。

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